沪某光电器件IC芯片手工制作厂,晶圆制作加工的过程中生成含硅、氟的特定化工生活污水,制定整理人数1200吨/日。化工生活污水有效成分错综复杂,内含nm级硅颗粒肥料及氢氧化钠,过去整理方案其特性很难不合格。
生活污水因素及来源地
常见被固体废弃物
:氢氧化铁硅(100-500nm孔径)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
原因生产工序
:晶圆刻蚀化工废水处理工艺(45%)、CMP生物学机械装置制造打磨化工废水处理工艺(40%)、装置清洗阴道水(15%)
治疗技术具体步骤
科学创新所采用"电化学积累+防化膜拆分"技术性交通路线:
钙盐沉淀物中
:添加氯化钙去掉氟阴阳离子(转化CaF2沉积)
二沉池反响
:和好二沉池剂体现胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜挪作他用微细颗粒物
反侵入系統
:脱盐率>98%,回收处理率75%
化掉析出
:浓水段控制氟化物零尾气排放
然后目的
氟化物溶液浓度:<8mg/L(达不到国四级原则10mg/L)
硅分量:<5mg/L
水資源循环率:70%适用于水冷水塔补充水分
危废处理减轻药量:汽化杂质量较传统文化工艺设备抑制60%