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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆工作线生活配套的超蒸馏水系統,每周产生了含硅废水治理 150吨。废水治理 中虽无巨资属,但硅水分含量高易积垢,且电阻值率需可达18MΩ·cm能够造纸废水治理 。原始治理 加工过程始终无法无法新颁布法律的《电子设备鑫霖环保水影响物进行尾气排出标准》(GB39731-2020)相当进行排出限制值。 焦化废水组成特别 最主要的排放物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、粒状硅(粒度分布0.1-1μm) 特色规范要求 :TOC<10μg/L,硼含量<5μg/L 污水水质性质 :低电阻率(<50μS/cm)但硅有机物价值形式僵化 鑫霖环保设计操作流程 信息化进行"梯级膜剥离+电去阴阳离子"乐队组合艺: 微滤预工作 :1μm瓷砖膜过滤大颗料硅,通量保护80LMH 正离子对换聚酯树脂 :D201大孔环氧树脂选定性降解硅酸大分子 中级RO操作系统 :首位段利用率60%,二段通过高脱硼膜元器件封装 EDI电去阴离子 :工作电流相对密度2A/m²,快速除去残余物铁离子 紫外光消毒 :254nm太阳光的太阳辐射线用药量40mJ/cm² 枝术工作亮点 研发转用阻硅剂(生产胺类符合物),延长时间膜环保问题时间段3倍 EDI电源模块的创新流道来设计,硅彻底清除率升级至99.8% 网上硅讲解仪(在线测量时间范围0.1-500μg/L)改变精准脱贫管理 行驶效益 经非官方检验: 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼含水量从8μg/L降下来0.3μg/L 系統二手回产出率从原40%发展至68% 膜撤换寿命不断增加至5年,年启动成本费用降低了35%

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